Standardization

サンプルホルダーの図面をアップデートしました。3次元CADファイルはこちら。(stp ,jpg, pdf)。(2024/3/08)


合成・分析・計測モジュールの通信プロトコルを公開しました。(株式会社テクトス協力)(2022/3/19)


3Dプリンタでサンプルホルダを印刷できるstlファイルを公開しました。(2022/3/3)
stlファイルのダウンロードはこちら

一杉・清水研究室のクラスターシステムの図面(株式会社パスカル作成)

サンプルホルダーの3次元CADファイルはこちら。(stp ,jpg, pdf)。

図面や通信プロトコルの標準化に関する詳細については、hitosugi -at- g.ecc.u-tokyo.ac.jp までお問合せください。

モジュール-クラスターチャンバー間の接続形式

サンプルホルダー(NEW!)

BJ1702-001E キバンホルダークミズ-モデル

BJ1702-500A10 キバンホルダー-モデル

BJ1702-500_□10キバンホルダー
ダウンロードしてviewerソフトで御覧ください

BJ1702-501A マスクホルダー-モデル

BJ1702-502 マスク-モデル

BJ1702-503 均熱板-モデル

BJ1702-504 ホールバーマスク-モデル

BJ1702-505 下地膜マスク-モデル

BJ1702-506 ピン1-モデル

BJ1702-507A ピン2-モデル

BJ1702-508 ホルダーウケ-モデル

BJ1702-509 サンプルフォーク-モデル