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合成・分析・計測モジュールの通信プロトコルを公開しました。(株式会社テクトス協力)(2022/3/19)


3Dプリンタでサンプルホルダを印刷できるstlファイルを公開しました。(2022/3/3)
stlファイルのダウンロードはこちら

一杉・清水研究室のクラスターシステムの図面(株式会社パスカル作成)

BJ1702-001E キバンホルダークミズ-モデル

BJ1702-500A10 キバンホルダー-モデル

BJ1702-501A マスクホルダー-モデル

BJ1702-502 マスク-モデル

BJ1702-503 均熱板-モデル

BJ1702-504 ホールバーマスク-モデル

BJ1702-505 下地膜マスク-モデル

BJ1702-506 ピン1-モデル

BJ1702-507A ピン2-モデル

BJ1702-508 ホルダーウケ-モデル

BJ1702-509 サンプルフォーク-モデル